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福建兆元光电有限公司马昆旺获国家专利权

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龙图腾网获悉福建兆元光电有限公司申请的专利一种功率二极管的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116936605B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310716753.1,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权一种功率二极管的制备方法是由马昆旺;邹声斌;贺卫群;马野;刘恒山设计研发完成,并于2023-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种功率二极管的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体的制备方法,具体涉及一种功率二极管的制备方法。该制备方法,包括以下步骤:S1:在衬底上依次生长缓冲层、GaNlayer层、GaN层、AlGaN层、轻掺杂GaN层和重掺杂GaN层,得到外延片;S2:刻蚀使部分AlGaN层裸露,在重掺杂GaN层上制备阴极电极;在裸露的AlGaN层上制备阳极电极。采用该方法制备得到的功率二极管兼顾了水平结构的高导通和垂直结构的高击穿,一方面调整了电子的空间分布,实现水平方向和垂直方向的快速导通,另一方面有效利用了高质量GaN提高抗击穿能力,实现更广阔的应用场景。

本发明授权一种功率二极管的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种功率二极管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:在衬底上依次生长缓冲层、GaN layer层、GaN层、AlGaN层、轻掺杂GaN层和重掺杂GaN层,得到外延片; S2:刻蚀使部分AlGaN层裸露,在重掺杂GaN层上制备阴极电极;在裸露的AlGaN层上制备阳极电极。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人福建兆元光电有限公司,其通讯地址为:350000 福建省福州市闽侯县南屿镇生物医药和机电产业园区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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