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北京师范大学廖斌获国家专利权

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龙图腾网获悉北京师范大学申请的专利离子束稳流装置及电弧离子镀设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116949403B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310919927.4,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权离子束稳流装置及电弧离子镀设备是由廖斌;欧阳潇;陈琳;罗军;英敏菊;庞盼设计研发完成,并于2023-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

离子束稳流装置及电弧离子镀设备在说明书摘要公布了:本发明公开一种离子束稳流装置,包括弧电源、阴极组件以及触发组件,其中,弧电源的正极接地;阴极组件包括阴极靶材和靶材座,靶材座处还设置永磁体;触发组件包括触发电极、触发针和辅助阳极板。弧电源在靶材座和触发电极施加电压,使触发针与阴极靶材接触形成短路,瞬间形成电弧,在电弧中形成等离子体,电弧斑在阴极靶材表面移动;辅助阳极板接地,当电弧斑运动至阴极靶材边缘时,由于辅助阳极板的电位较阴极靶材的电位高,电弧斑返回阴极靶材中心,从而避免电弧斑落在阴极靶材的侧面而导致灭弧。本发明还提供一种电弧离子镀设备,包含上述的离子束稳流装置,提高离子束稳定性,进而提升电弧离子镀质量。

本发明授权离子束稳流装置及电弧离子镀设备在权利要求书中公布了:1.一种离子束稳流装置,其特征在于,包括: 弧电源,所述弧电源的正极接地; 阴极组件,所述阴极组件包括阴极靶材和靶材座,所述阴极靶材设置于所述靶材座上,所述靶材座与所述弧电源的负极相连;所述靶材座处还设置永磁体; 触发组件,所述触发组件包括触发电极、触发针和辅助阳极板,所述触发电极与所述弧电源的正极相连,所述触发针以及所述辅助阳极板均与所述触发电极相连,所述触发针与所述触发电极活动连接以使所述触发针能够与所述阴极靶材接触,所述辅助阳极板套装于所述阴极靶材的外部且二者之间具有间隙; 所述触发电极与所述弧电源之间设置可变电阻元件,所述可变电阻元件利用自动协调控制器与所述弧电源相连; 所述触发组件还包括触发杆和支撑杆,所述触发针利用所述触发杆与所述触发电极相连,所述触发杆为伸缩杆;所述辅助阳极板利用所述支撑杆与所述触发电极相连;所述支撑杆的一端与所述触发电极相连,所述支撑杆的另一端穿过所述辅助阳极板并利用紧固元件固定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京师范大学,其通讯地址为:100875 北京市海淀区新街口外大街19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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