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龙图腾网获悉宁波大学申请的专利一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117385319B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311169468.9，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法是由陈益敏;范策;沈祥;刘自军;顾辰杰;高一骁;徐铁峰设计研发完成，并于2023-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法，特点包括：开启电子束热蒸发沉积系统，将需要蒸镀的材料装入有蒸发孔的坩埚中的步骤；对腔室进行抽真空直至腔室气压低于6.6*10‑4Pa后，开启样品台加热控温模块，将目标温度设置为低于所蒸镀的非晶硫系材料的玻璃化转变温度15‑25℃；开启电子束控制系统和电子枪高压按钮，将电子束产生的圆形光斑位置调整至坩埚中心位置，待蒸镀速率稳定后，打开样品台挡板进行蒸镀，即得到十微米级非晶Ge‑Se‑Te薄膜的步骤，优点是速率快、稳定、成膜质量高，在保持原玻璃材料的性能的基础上，具有蒸镀效率高、成膜质量好等特点，可以用于后续超透镜微纳结构的加工。

本发明授权一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种用于超透镜的十微米级非晶硫系薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤： 1将衬底依次使用异丙醇、无水乙醇和去离子水在超声波清洗器里清洗10分钟后，再用氮气枪吹干，洗净后烘干保存； 2开启电子束热蒸发沉积系统，将衬底固定至腔室的样品台，然后将装有非晶硫系材料的带盖子的坩埚放入腔室坩埚槽内，盖子上设置有若干个蒸发孔，其中所述的盖子在以中心半径8mm的同心圆上均匀分布八个直径为3mm的蒸发孔，所述的非晶硫系材料为Ge20Se20Te60； 3开启抽真空系统对腔室进行抽真空处理，直至腔室气压低于6.6*10‑4Pa； 4开启电子束热蒸发沉积系统的样品台加热控温模块，将目标温度设置为低于所蒸镀的非晶硫系材料的玻璃化转变温度15‑25℃，调节加热电流至1.2A，使样品台温度上升达到目标温度； 5开启电子束控制系统，进行灯丝预热，将灯丝预置电流设置为0.5A，开启电子枪高压按钮，控制电子枪高压示数为8.11，电子束束流示数为0.007‑0.011，灯丝电压为81.5‑82.5V，灯丝电流为1.2A，电子枪产生电子束； 6将电子束产生的圆形光斑位置调整至坩埚中心位置，预蒸镀5‑10min，待膜厚仪显示蒸镀速率稳定后，打开样品台挡板进行蒸镀，控制蒸镀时间为10‑20min，蒸镀结束后依次关闭电子束控制系统、样品台加热控温模块和抽真空系统，等待样品台温度自然降温为室温后，即得到十微米级非晶硫系薄膜。

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