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龙图腾网获悉郑州炜盛电子科技有限公司申请的专利一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117630136B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311603003.X，技术领域涉及：G01N27/416；该发明授权一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器及其制备方法是由古瑞琴;刘琦;于亚伟;李威设计研发完成，并于2023-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器及其制备方法，属于气体传感器的技术领域，用以解决MEMS电化学气体传感器密封性差的技术问题。本发明传感器包括上芯片下芯片，上芯片键合在下芯片上方；微腔、进气孔、工作电极，工作电极有一部分区域与微腔中的电解液接触，还有一部分区域通过进气孔与空气接触；对电极，对电极位于微腔内壁，设置对电极的内壁处设有通孔，对电极设置在通孔上，通孔穿透上芯片或下芯片与外界连通，通孔内填充有金属导体与对电极连接。本发明MEMS电化学气体传感器应用玻璃通孔或硅通孔技术将引线及焊盘布置在传感器非键合面，使得硅‑玻璃键合面无其他物质，确保键合紧密，提高传感器的密封性。

本发明授权一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于液体电解质的MEMS电化学气体传感器，其特征在于，包括上芯片1； 下芯片2，上芯片1键合在下芯片2上方； 微腔3，位于下芯片2和上芯片1之间，微腔3内储存有电解质； 进气孔4，进气孔4设置在上芯片1上并将上芯片1贯穿与微腔3连接，外部空气通过进气孔4与微腔3连通； 工作电极5，工作电极5设置在上芯片1上，工作电极5有一部分区域与微腔3中的电解液接触，还有一部分区域通过进气孔4与空气接触； 对电极6，对电极6位于微腔3内壁，设置对电极6的内壁处设有通孔7，对电极6设置在通孔7上，通孔7穿透上芯片1或下芯片2与外界连通，通孔7内填充有金属导体与对电极6连接； 工作电极焊盘51和对电极焊盘61，工作电极焊盘51设于在上芯片1的外表面，与工作电极5电气连通；对电极焊盘61设于通孔7远离对电极6的一端，对电极焊盘61通过金属导体与对电极6电气连通； 所述上芯片1为硅片，所述硅片包括远离下芯片2的顶硅层101和靠近下芯片2的底硅层103，顶硅层101与底硅层103之间设有二氧化硅层102；下芯片2的材料为玻璃；所述底硅层103表面设有凹腔9，进气孔4设置在上芯片1中背面设有凹腔9的区域，上芯片1与下芯片2键合后将凹腔9开口密封形成微腔3；所述工作电极5设置在凹腔9的内壁及进气孔4的侧壁，并延伸至上芯片1的外表面；所述工作电极5与上芯片1的接触区域之间设有多孔膜8；所述对电极6设置在微腔3内壁下芯片2的一侧，所述通孔7为玻璃通孔，玻璃通孔穿透下芯片2，对电极焊盘61设于下芯片2外表面的玻璃通孔上； 或所述上芯片1的材料为玻璃，下芯片2为硅片；所述下芯片2表面设有凹腔9，上芯片1与下芯片2键合后将凹腔9开口密封形成微腔3；所述工作电极5位于进气孔4的侧壁，并延伸至上芯片1的外表面；所述工作电极5与上芯片1的接触区域之间设有多孔膜8；所述对电极6设置在微腔3内壁下芯片2的一侧，所述通孔7为硅通孔，硅通孔穿透下芯片2，对电极焊盘61设于下芯片2外表面的硅通孔上。

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