泉州市三安集成电路有限公司邹福松获国家专利权
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龙图腾网获悉泉州市三安集成电路有限公司申请的专利弹性波器件及其制备方法、弹性波装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117981217B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380013555.7，技术领域涉及：H03H3/04；该发明授权弹性波器件及其制备方法、弹性波装置是由邹福松设计研发完成，并于2023-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性波器件及其制备方法、弹性波装置在说明书摘要公布了：本发明涉及弹性波器件技术领域，特别涉及一种弹性波器件的制备方法，其包括下列步骤：在衬底上的部分区域形成光阻结构；在衬底和光阻结构上沉积形成IDT金属层，IDT金属层具有延伸脚；在IDT金属层的表面设置自对准层，自对准层未完全覆盖延伸脚；去除未被自对准层覆盖的延伸脚和光阻结构；在IDT金属层和衬底上形成调频介电层。借此设置，可以有效去除IDT金属层大部分的延伸脚footing，使得制备的弹性波器件具有优良的产品特性。
本发明授权弹性波器件及其制备方法、弹性波装置在权利要求书中公布了：1.一种弹性波器件的制备方法，其特征在于：所述弹性波器件的制备方法包括下列步骤： 在衬底上的部分区域形成光阻结构； 在所述衬底和所述光阻结构上沉积形成IDT金属层，所述IDT金属层具有延伸脚； 在所述IDT金属层的表面设置自对准层，所述自对准层未完全覆盖所述延伸脚；所述自对准层的材料与所述IDT金属层的材料不同； 去除未被所述自对准层覆盖的所述延伸脚和所述光阻结构； 在所述IDT金属层和所述衬底上形成调频介电层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人泉州市三安集成电路有限公司，其通讯地址为：362343 福建省泉州市南安市石井镇古山村莲山工业区2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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