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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种碳化硅晶片生长用的加热设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118166434B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410529615.7，技术领域涉及：C30B33/02；该发明授权一种碳化硅晶片生长用的加热设备是由张永良;王欣;孔海宽;章磊设计研发完成，并于2024-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅晶片生长用的加热设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳化硅晶片生长用的加热设备，具体涉及碳化硅晶片加工技术领域，包括退火箱，退火箱内固定连接有隔热板，退火箱的内腔由隔热板上下分隔成冷却腔和加热腔；还包括晶片载料结构、链条升降单元和冷却流通件；晶片载料结构的数量为一对，晶片载料结构包括支架、固定连接在支架两端且镜像设置的一对封堵座和固定连接在支架内侧的载筒；隔热板上设置有用于封堵座封堵的移料通道，载筒中设置有冷却道，且冷却道的两端延伸至载筒的外表面。本发明解决了碳化硅晶片加热的取放过程中可能会由于炉内高温造成人员皮肤的烫伤；经高温加热后的碳化硅晶片多通过自然冷却的方式降温至室温，影响对碳化硅晶片的加工效率。

本发明授权一种碳化硅晶片生长用的加热设备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶片生长用的加热设备，其特征在于：包括退火箱1，所述退火箱1内固定连接有隔热板2，所述退火箱1的内腔由隔热板2上下分隔成冷却腔和加热腔； 晶片载料结构4，所述晶片载料结构4的数量为一对，所述晶片载料结构4包括支架41、固定连接在所述支架41两端且镜像设置的一对封堵座42和固定连接在所述支架41内侧的载筒43； 所述隔热板2上设置有用于封堵座42封堵的移料通道，所述载筒43中设置有冷却道，且冷却道的两端延伸至所述载筒43的外表面，所述载筒43的内侧活动设置有用于碳化硅晶片放置的坩埚5； 链条升降单元6，所述链条升降单元6设置在冷却腔内，所述链条升降单元6上固定连接有一对升降杆7，所述链条升降单元6通过对应的升降杆7带动一对载筒43交错升降； 冷却流通件8，所述冷却流通件8的数量为两对，且两两竖向设置为一组，所述冷却流通件8包括外连接管81、无缝连接在所述外连接管81一端的密封环82和滑动连接在所述外连接管81内的内连接管83，所述内连接管83滑动连接在所述密封环82上，相邻两个外连接管81的管心间距与所述冷却道431两端的间距相同； 直线伸缩结构9，所述直线伸缩结构9的数量为一对，两个外连接管81对应设置在一个直线伸缩结构9上，所述直线伸缩结构9活动设置在所述隔热板2上，所述链条升降单元6上设置有用于活动抵接直线伸缩结构9的挤压圆头杆10； 当位于底部的封堵座42设置在所述隔热板2上的移料通道时，所述外连接管81水平对应并靠近所述冷却道431的端口位置，当位于顶部的封堵座42设置在所述隔热板2上的移料通道时，所述外连接管81水平对应并远离所述冷却道431的端口位置； 所述直线伸缩结构9包括固定架91、固定连接在所述固定架91上的伸缩杆92、套设在所述伸缩杆92上的压簧93和固定连接在所述固定架91上的斜座94，所述固定架91固定连接在一对外连接管81上，所述伸缩杆92背向所述固定架91的一端固定连接在所述退火箱1的内壁上，所述斜座94滑动连接在所述隔热板2上； 所述斜座94的底部固定连接有滑座14，所述滑座14滑动连接在所述隔热板2上，所述斜座94的顶部设置有滑动斜面，所述挤压圆头杆10固定连接在所述链条升降单元6的传输链条63上，所述挤压圆头杆10滑动连接在所述斜座94上。

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