南京嘉阳工程技术有限公司胡如林获国家专利权
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龙图腾网获悉南京嘉阳工程技术有限公司申请的专利一种用于多频等离子处理的气体分配与控制装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651351U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422303507.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种用于多频等离子处理的气体分配与控制装置是由胡如林;杨月明设计研发完成，并于2024-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于多频等离子处理的气体分配与控制装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于多频等离子处理的气体分配与控制装置，包括装载箱体，所述装载箱体底部的中间位置固定安装有适应顶升气缸，所述装载箱体外部的边侧位置对称固定安装有定位螺纹孔安装块，所述装载箱体上端的中间位置固定安装有输出过渡导气管，所述装载箱体内部上端的中间位置固定安装有内螺纹对接导管，所述装载箱体的内部活动安装有对位装配气罐，所述输出过渡导气管的上端固定连接有供气输出泵，所述供气输出泵的上端固定连接有输出弯管，所述输出过渡导气管与输出弯管内部之间通过供气输出泵相互连通，所述输出弯管的端头处固定安装有气量调节箱。本实用新型通过采用螺纹对接的装配式气罐对接结构，使得该装置在正常使用工作中对于气罐的更换作业更加便捷稳定。
本实用新型一种用于多频等离子处理的气体分配与控制装置在权利要求书中公布了：1.一种用于多频等离子处理的气体分配与控制装置，包括装载箱体1，其特征在于： 所述装载箱体1底部的中间位置固定安装有适应顶升气缸4，所述装载箱体1外部的边侧位置对称固定安装有定位螺纹孔安装块5，所述装载箱体1上端的中间位置固定安装有输出过渡导气管6，所述装载箱体1内部上端的中间位置固定安装有内螺纹对接导管10，所述装载箱体1的内部活动安装有对位装配气罐8，所述输出过渡导气管6的上端固定连接有供气输出泵11，所述供气输出泵11的上端固定连接有输出弯管12，所述输出过渡导气管6与输出弯管12内部之间通过供气输出泵11相互连通，所述输出弯管12的端头处固定安装有气量调节箱13。
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