荣芯半导体(宁波)有限公司代勇获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种导电衬垫、基座组件及等离子体刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423245061.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种导电衬垫、基座组件及等离子体刻蚀设备是由代勇;戴一然;邱天丰;陈伏宏设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种导电衬垫、基座组件及等离子体刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种导电衬垫、基座组件及等离子体刻蚀设备，导电衬垫包括导电体和绝缘内衬体；导电体为柔性的细长结构，并具有沿其自身的轴向贯穿地延伸的内腔；绝缘内衬体为柔性的细长结构，并穿设在导电体的内腔中。导电衬垫应用于等离子体刻蚀设备的基座组件，基座组件还包括导电盘和静电吸附卡盘，导电盘的上表面设有安装槽，导电衬垫安装在安装槽处，静电吸附卡盘装配在导电盘的上表面上并压抵导电衬垫。通过在导电体的内腔中设置绝缘内衬体，使得导电衬垫在安装槽处更平整，这使得静电吸附卡盘与导电衬垫均匀接触以实现电能传输，减少甚至避免因静电吸附卡盘与导电衬垫接触不均匀所引起的电弧现象。
本实用新型一种导电衬垫、基座组件及等离子体刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种导电衬垫，其特征在于，包括导电体和绝缘内衬体；所述导电体为柔性的细长结构，并具有沿其轴向贯通地延伸的内腔；所述绝缘内衬体为柔性的细长结构，所述绝缘内衬体穿设在所述导电体的内腔中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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