上海积塔半导体有限公司何勇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利托盘和烘箱获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651356U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422570378.7,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型托盘和烘箱是由何勇设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本托盘和烘箱在说明书摘要公布了:本申请涉及一种托盘和烘箱,托盘可通过烘箱中的卡槽固定于所述烘箱,托盘可包括托盘平面,托盘平面为倾斜面,倾斜面可用于,当晶盒放置在所述托盘平面上时,晶盒随倾斜面的坡度倾斜。有效解决在晶盒中的晶圆因为片与片间隙不均匀引起的粘片的问题。
本实用新型托盘和烘箱在权利要求书中公布了:1.一种托盘,其特征在于,所述托盘通过烘箱中的卡槽固定于所述烘箱,所述托盘包括: 托盘平面,所述托盘平面为倾斜面; 所述倾斜面用于,当晶盒放置在所述托盘平面上时,所述晶盒随倾斜面的坡度倾斜; 所述倾斜面包括至少两个子倾斜面,相邻的所述子倾斜面之间通过连接面连接,或者所述倾斜面为整平面,所述整平面与水平面之间的夹角为锐角。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司,其通讯地址为:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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