杭州天睿精密科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杭州天睿精密科技有限公司申请的专利一种晶圆键合机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651357U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422727206.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆键合机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合机在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆键合机，涉及半导体加工设备技术领域，为解决现有晶圆键合机使用电缸或者液压缸来提供压合力，压合力为一次性施加于晶圆对，导致压合精度较低的问题而设计。包括真空腔、位于真空腔外部的施压装置以及位于真空腔内部的压头，施压装置包括压力驱动机构、加压轴、加压腔和复位元件，压力驱动机构与加压轴相连，加压轴沿加压方向可移动地贯穿加压腔，加压轴设置有活塞凸台；加压腔开设有用于使气流进入并作用于活塞凸台的进气口以及用于使气流排出的出气口，复位元件被配置为使加压轴始终具有向减压方向运动的趋势；压头包括第一压盘和第二压盘，第一压盘安装于加压轴，第二压盘安装于真空腔。本实用新型压合精度高。
本实用新型一种晶圆键合机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合机，其特征在于，包括真空腔100、位于所述真空腔100外部的施压装置200以及位于所述真空腔100内部的压头300，所述施压装置200包括压力驱动机构210、加压轴220、加压腔230和复位元件240，所述压力驱动机构210与所述加压轴220相连，所述加压轴220沿加压方向可移动地贯穿所述加压腔230，所述加压轴220设置有活塞凸台221；所述加压腔230开设有用于使气流进入并作用于所述活塞凸台221的进气口2311以及用于使气流排出的出气口2312，所述复位元件240被配置为使所述加压轴220始终具有向减压方向运动的趋势；所述压头300包括第一压盘310和第二压盘320，所述第一压盘310安装于所述加压轴220，所述第二压盘320安装于所述真空腔100。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州天睿精密科技有限公司，其通讯地址为：311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路958号1幢801-14室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励