苏州龙驰半导体科技有限公司张琦获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州龙驰半导体科技有限公司申请的专利半导体器件制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651359U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422932519.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体器件制造设备是由张琦;葛俊山设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件制造设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种半导体器件制造设备，包括：设备主体，设备主体内设有用于容纳晶圆的反应室；反应室内设有石英管、石英托盘、加热灯管；石英管位于反应室的中部，从反应室的前端延伸至后端；石英托盘位于石英管内，用于承载晶圆；加热灯管布设于石英管的外围；氧含量检测器件；所述氧含量检测器件的检测探头插入反应室内，用于检测反应室的氧含量。本申请实施例提供的半导体器件制造设备用于检测反应室的氧含量，实现了对设备内的氧含量进行实时检测，能及时发现漏氧情况，以提高产品良率，降低生产成本。
本实用新型半导体器件制造设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体器件制造设备，其特征在于，包括： 设备主体，设备主体内设有用于容纳晶圆的反应室；反应室内设有石英管、石英托盘、加热灯管；石英管位于反应室的中部，从反应室的前端延伸至后端；石英托盘位于石英管内，用于承载晶圆；加热灯管布设于石英管的外围； 氧含量检测器件；所述氧含量检测器件的检测探头插入反应室内，用于检测反应室的氧含量。
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