杭州天睿精密科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州天睿精密科技有限公司申请的专利一种冷却装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651367U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423221615.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种冷却装置及半导体工艺设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷却装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种冷却装置及半导体工艺设备，涉及半导体设备温控装置的技术领域。该半导体工艺设备，包括工艺腔室和上述的冷却装置，工艺腔室内设有加热盘，用于加热其下方的晶圆；冷却装置用于冷却加热盘，包括水冷盘，水冷盘设于工艺腔室内且位于加热盘的上方，水冷盘设有冷却水道，且水冷盘与加热盘相对的一侧固定贴设有电冷块。需要冷却时，例如需要对加热盘进行冷却时，该冷却装置的电冷块和水冷盘里面的流动冷却水共同作用，其中，电冷块的效率更高，所以，整个冷却装置能够快速冷却加热盘，冷却效率更高。此外，流动的冷却水还能为电冷块提供一个温度适宜的环境，从而能够防止电冷块过热损坏。
本实用新型一种冷却装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却装置，用于冷却加热盘210，其特征在于，包括水冷盘310，所述水冷盘310设有冷却水道311，且所述水冷盘310与所述加热盘210相对的一侧固定贴设有电冷块340； 所述水冷盘310与所述加热盘210相对的端面设有容纳槽，所述容纳槽与所述电冷块340匹配，所述电冷块340容置于所述容纳槽内； 所述水冷盘310与所述加热盘210相对的端面还固设有导热板370，所述导热板370将所述电冷块340限位于所述容纳槽内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州天睿精密科技有限公司，其通讯地址为：311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路958号1幢801-14室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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