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龙图腾网获悉上海复驰信息科技有限公司申请的专利一种硅片清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651368U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423257280.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种硅片清洗装置是由刘伟;沈茂田;杨杰设计研发完成，并于2024-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括基座，基座的顶端固定设置有清洗槽，清洗槽两侧的底部均固定设置有第一安装块，两个第一安装块的顶端均固定连接有第一气缸，两个第一气缸的活动端均固定连接有第二安装块，两个第二安装块之间固定设置有密封板，本实用新型一种硅片清洗装置，通过两个第一气缸带动两个第二安装块向上移动，进而带动密封板等结构向上移动，直至若干个硅片脱离液面，再通过第二气缸推动安装板向下移动，直至若干个出气口移动至若干个硅片的正上方，再通过热风机通电产生热风，并将热风经过分流管分流到若干个支管内，再经过若干个出气口喷出，从而实现对若干个硅片的清洗、烘干一体化操作，进而提高工作效率。

本实用新型一种硅片清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片清洗装置，包括基座1，其特征在于：所述基座1的顶端固定设置有清洗槽3，所述清洗槽3两侧的底部均固定设置有第一安装块4，两个所述第一安装块4的顶端均固定连接有第一气缸5，两个所述第一气缸5的活动端均固定连接有第二安装块6，两个所述第二安装块6之间固定设置有密封板7，所述密封板7底端的两侧均固定设置有连接杆10，两个所述连接杆10的底端均固定连接有连接块11，两个所述连接块11之间固定设置有安置架12，所述密封板7顶端的中部固定安装有第二气缸8，所述第二气缸8的活动端穿过密封板7固定连接有安装板9，所述安装板9的顶部固定安装有热风机15，所述热风机15的出气端固定连接有出气管16，所述出气管16远离热风机15的一端固定连通有分流管17，所述分流管17的一侧固定连通有若干个支管18，若干个所述支管18的顶端均开设有若干个出气口19，所述分流管17和若干个支管18均与安装板9固定连接。

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