上海提牛科技股份有限公司韩鹏帅获国家专利权
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龙图腾网获悉上海提牛科技股份有限公司申请的专利不同尺寸花篮兼容进料系统用硅片称重机构及其进料系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651370U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423261277.8,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型不同尺寸花篮兼容进料系统用硅片称重机构及其进料系统是由韩鹏帅;李守印;葛林四;燕高飞;李杰设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本不同尺寸花篮兼容进料系统用硅片称重机构及其进料系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种不同尺寸花篮兼容进料系统用硅片称重机构,包括:进料平台、可承载花篮的M个花篮托板和对花篮称重的M个称重传感器组件,其中进料平台上具有M个托板腔,M个花篮托板设在对应的托板腔内,每组称重传感器组件的一端固定在进料平台下靠近对应的托板腔,另一端固定在对应的花篮托板下,以使得对对应的花篮托板上的花篮进行称重。本实用新型通过设计花篮托板和称重传感器组件对进料的硅片和花篮进行称重,使得可以兼容不同尺寸的硅片花篮,对进料不同尺寸的硅片花篮依据称重数据合理分配后续例如甩干程序中硅片花篮。
本实用新型不同尺寸花篮兼容进料系统用硅片称重机构及其进料系统在权利要求书中公布了:1.一种不同尺寸花篮兼容进料系统用硅片称重机构,其特征在于所述硅片称重机构包括: 一进料平台,所述进料平台上具有M个托板腔; 可承载花篮的M个花篮托板,设在所述进料平台对应的托板腔内; M组称重传感器组件,每组称重传感器组件的一端固定在所述进料平台下靠近对应的托板腔,另一端固定在对应的花篮托板下,每组称重传感器组件可对对应的花篮托板上的花篮进行称重。
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