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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种晶圆吹扫装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651371U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423262687.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆吹扫装置是由韩玮;庄源设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆吹扫装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆吹扫装置，包括基台、通气管路、供气装置和驱动器。其中，基台包括固定设置的上基台和下基台。通气管路包括沿竖直方向设置且轴线相重合的上管段和下管段，以及连接上管段和下管段的弯管段。上管段和下管段分别与上基台和下基台可旋转地连接。弯管段包括第一延伸段、第二延伸段和连接段，第一延伸段与第二延伸段间隔预定距离且平行设置。第一延伸段和第二延伸段相对的表面分别设置有若干第一气孔和第二气孔。下管段的下部开口与供气装置的管路旋转密封连接，上管段的上部开口封闭。驱动器与上管段可旋转地连接。在本申请的技术方案中，气流可通过第一延伸段和第二延伸段表面的气孔均匀吹扫晶圆两面，实现对晶圆的彻底清洁。

本实用新型一种晶圆吹扫装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吹扫装置，其特征在于，包括： 基台1，包括固定设置的上基台101和下基台102； 通气管路2，包括沿竖直方向设置且轴线相重合的上管段201和下管段202，以及连接所述上管段201和所述下管段202的弯管段203；所述上管段201与所述上基台101可旋转地连接，所述下管段202与所述下基台102可旋转地连接；所述弯管段203包括第一延伸段231、第二延伸段232和连接段233，所述第一延伸段231与所述第二延伸段232间隔预定距离且平行设置，所述第一延伸段231的第一端与所述第二延伸段232的第一端通过所述连接段233连通；所述第一延伸段231的第二端与所述上管段201的下部开口连通，所述第二延伸段232的第二端与所述下管段202的上部开口连通；所述第一延伸段231朝向所述第二延伸段232的表面设置有若干第一气孔241，所述第二延伸段232朝向所述第一延伸段231的表面设置有若干第二气孔242； 供气装置3，所述下管段202的下部开口与所述供气装置3的管路旋转密封连接，所述上管段201的上部开口封闭； 驱动器4，所述驱动器4与所述上管段201可旋转地连接，用于驱动所述通气管路2旋转； 其中，清扫晶圆时，晶圆处于所述第一延伸段231与所述第二延伸段232之间。

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