上海积塔半导体有限公司王大伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利真空片盒获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651375U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422716130.7，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型真空片盒是由王大伟;郑永哲;李纪翔设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空片盒在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种真空片盒，涉及半导体制造技术领域，该真空片盒包括了盒体，盒体内设置有多层晶圆支撑槽，每一个晶圆支撑槽都具有支撑壁，支撑壁上设置有固定结构，固定结构包括多个固定组件，多个固定组件分别位于支撑壁的不同位置，用于固定晶圆，从而减少晶圆偏移。在支撑壁上还设置有至少一个传感器，采用传感器检测晶圆的位置，以确保晶圆位置偏移时，及时对晶圆的位置进行调整，保证晶圆的位置稳定，避免晶圆的损坏。
本实用新型真空片盒在权利要求书中公布了：1.一种真空片盒，其特征在于，包括： 盒体，所述盒体内设置多层晶圆支撑槽，所述晶圆支撑槽包括支撑壁； 固定结构，所述固定结构包括多个固定组件，多个所述固定组件分别位于所述支撑壁的不同位置，用于共同固定晶圆； 至少一个传感器，所述传感器位于所述晶圆支撑槽内的所述支撑壁上，所述传感器用于检测所述晶圆的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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