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合肥芯投微电子有限公司陈洋获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥芯投微电子有限公司申请的专利一种抽屉式的提篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651377U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423015126.4,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种抽屉式的提篮是由陈洋;周普;刘志钢设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种抽屉式的提篮在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆生产技术领域,具体地说,涉及一种抽屉式的提篮,包括框架和在框架内壁对称安装的槽块,两个槽块的相对侧对称开设有数量不低于两个的卡槽,卡槽内腔底部均开设有滑动轨道,且水平高度相同的两个滑动轨道之间滑动连接有承载框。本实用新型在使用时,将晶圆铁环放置在承载框上,随后推动承载框滑动到框架内,从而带动晶圆铁环同步移动到框架内,可以直观地将晶圆铁环放到指定的卡槽,简化作业步骤,提升作业的效率;同时可避免铁环斜插到卡槽而引起的机台手臂碰到导致手臂断裂或者机台手臂直接碰到铁环上的晶圆导致晶圆破裂,降低了机台损耗以及晶圆报废率,达到节约成本的目的。

本实用新型一种抽屉式的提篮在权利要求书中公布了:1.一种抽屉式的提篮,包括框架100和在框架100内壁对称安装的槽块102,两个槽块102的相对侧对称开设有数量不低于两个的卡槽105,其特征在于:所述卡槽105内腔底部均开设有滑动轨道106,且水平高度相同的两个滑动轨道106之间滑动连接有承载框110,其中,晶圆铁环放置在承载框110上,并随着承载框110的滑动移动到框架100内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯投微电子有限公司,其通讯地址为:230088 安徽省合肥市高新区长宁社区服务中心菖蒲路2680号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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