东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张灿获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利晶圆送片机构及晶圆缺陷检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651379U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422693865.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆送片机构及晶圆缺陷检测设备是由张灿;毕增帅;王纪钰;胡舒航设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆送片机构及晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆送片机构及晶圆缺陷检测设备，晶圆送片机构包括暂存仓组、第一机械手及第二机械手，暂存仓组包括第一作业单元与第二作业单元；第一机械手用于向暂存仓组输送待测晶圆或转移暂存仓组中检测完毕的晶圆；第二机械手用于在检测机构与暂存仓组之间输送晶圆，第一作业单元与第二作业单元并排连接于第二机械手；其中，第一作业单元包括至少一个暂存仓，第二作业单元包括至少一个暂存仓。根据本申请的实施例，两个作业单元能够互相备料或互为补充，实现晶圆送片机构的持续上料，优化待测晶圆向检测机构的上料流程，从而提升晶圆缺陷检测工艺的作业效率。
本实用新型晶圆送片机构及晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆送片机构，其特征在于，包括： 暂存仓组，包括第一作业单元与第二作业单元； 第一机械手，用于向所述暂存仓组输送待测晶圆或转移所述暂存仓组中检测完毕的晶圆； 第二机械手，用于在检测机构与所述暂存仓组之间输送晶圆，所述第一作业单元与所述第二作业单元并排连接于所述第二机械手； 其中，所述第一作业单元包括至少一个暂存仓，所述第二作业单元包括至少一个暂存仓，待测晶圆依次通过所述第一机械手、所述暂存仓组及所述第二机械手进入检测机构，检测完毕的晶圆依次通过所述第二机械手、所述暂存仓组及所述第一机械手送出所述晶圆送片机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励