江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种基板上料装置及清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651381U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423159402.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种基板上料装置及清洗设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板上料装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型的实施例提供了一种基板上料装置及清洗设备，涉及半导体加工设备领域。本实用新型提供的一种基板上料装置包括用于承载基板的花篮、用于安装处理槽的安装板、放置架、固定组件与驱动组件，放置架具有容置腔，花篮通过容置腔放置于放置架内；固定组件设置于放置架上，花篮位于容置腔内时，固定组件用于对花篮进行固定；驱动组件设置于安装板上并与放置架连接，驱动组件用于驱动放置架沿竖直方向移动，以使放置架进入或离开处理槽。本实用新型提供的一种清洗设备包括上述基板上料装置与处理槽。本实用新型具有提升半导体基板加工效率的作用。
本实用新型一种基板上料装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种基板上料装置，其特征在于，包括： 花篮，所述花篮用于承载基板； 安装板，所述安装板用于安装盛放有处理液的处理槽； 放置架，所述放置架具有容置腔，所述花篮通过所述容置腔放置于所述放置架内； 固定组件，所述固定组件设置于所述放置架上，所述花篮位于所述容置腔内时，所述固定组件用于对所述花篮进行固定； 驱动组件，所述驱动组件设置于所述安装板上并与所述放置架连接，所述驱动组件用于驱动所述放置架沿竖直方向移动，以使所述放置架进入或离开所述处理槽； 限位组件，所述限位组件设置于所述放置架上，所述容置腔内放置有所述花篮且所述花篮进入所述处理槽之前，所述限位组件用于对所述花篮内的基板进行限位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215121 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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