成都海威华芯科技有限公司黄仁贵获国家专利权
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龙图腾网获悉成都海威华芯科技有限公司申请的专利一种用于晶圆进行烘箱制程的辅助装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651384U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422956118.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种用于晶圆进行烘箱制程的辅助装置是由黄仁贵设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆进行烘箱制程的辅助装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆进行烘箱制程的辅助装置，属于半导体设备技术领域，包括：水平移动部件，其中设有履带式导轨；动力控制部件，设在水平移动部件上，其后端与导轨连接；旋转部件，与动力控制部件同轴竖直设置，其后端与动力控制部件的前端连接；可水平伸缩的机械臂，垂直旋转部件设置，其后端与旋转部件的前端连接；旋转部件内设有沿竖直方向传送的第一履带，机械臂连接在所述第一履带上；晶圆吸盘，设在机械臂的前端；烘箱，其中设有多层载板，载板上设有多组用于放置晶圆的基座；动力控制部件分别与水平移动部件、旋转部件、机械臂控制连接。该装置取代了现有烘烤制程中人为放置晶圆的操作，保证了操作的稳定性和安全性。
本实用新型一种用于晶圆进行烘箱制程的辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆进行烘箱制程的辅助装置，其特征在于，包括： 水平移动部件，其中设有履带式导轨； 动力控制部件，设在所述水平移动部件上，其后端与所述导轨连接； 旋转部件，与所述动力控制部件同轴竖直设置，其后端与所述动力控制部件的前端连接； 可水平伸缩的机械臂，垂直所述旋转部件设置，其后端与所述旋转部件的前端连接；所述旋转部件内设有沿竖直方向传送的第一履带，所述机械臂连接在所述第一履带上； 晶圆吸盘，设在所述机械臂的前端； 烘箱，其中设有多层载板，所述载板上设有多组用于放置晶圆的基座； 所述动力控制部件分别与所述水平移动部件、旋转部件、机械臂控制连接。
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