日月新半导体(昆山)有限公司李安艳获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种便于调节的晶圆检测固定夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651388U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423086336.2,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种便于调节的晶圆检测固定夹具是由李安艳设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于调节的晶圆检测固定夹具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆检测技术领域,公开了一种便于调节的晶圆检测固定夹具,包括固定台和工作台,工作台顶部连接设有固定组件,固定台顶部连接设有调整组件;调整组件包括固定架,固定架一端固定连接在固定台顶部,固定架外侧固定连接有电机;本实用新型与现有技术相比的优点在于:可以在需要从倾斜角度观察晶圆时,将晶圆调整到合适的倾斜角度,利于检测设备获取更清晰、更全面的图像,从而提高了便于调节的晶圆检测固定夹具的灵活性;能够牢固地固定晶圆,确保其在倾斜调整过程中位置精准,避免了因位置变化而导致的检测误差,提高了便于调节的晶圆检测固定夹具的稳定性。
本实用新型一种便于调节的晶圆检测固定夹具在权利要求书中公布了:1.一种便于调节的晶圆检测固定夹具,包括固定台1和工作台2,其特征在于:所述工作台2顶部连接设有固定组件16,所述固定台1顶部连接设有调整组件3; 所述调整组件3包括固定架4,所述固定架4一端固定连接在固定台1顶部,所述固定架4外侧固定连接有电机5,所述电机5的输出轴穿过固定架4固定连接有固定轴6,所述固定轴6一端在固定架4内壁转动,所述固定轴6外部固定套接有主动齿轮7,所述主动齿轮7底部啮合连接有从动齿轮8,所述从动齿轮8内部固定套接有主动杆9,所述主动杆9两端均穿过固定架4固定连接有从动板10,所述从动板10一端与工作台2侧面转动连接,所述工作台2一端两侧均转动连接有限位板11,所述限位板11底部固定连接有连接板12,所述连接板12底部固定连接有导向板13,所述导向板13内部开设有导向槽14,所述导向槽14内部滑动连接有导向块15,所述导向块15底部固定连接在固定台1顶部。
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