杭州天睿精密科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州天睿精密科技有限公司申请的专利位移旋转一体平台及晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651389U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423108919.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型位移旋转一体平台及晶圆检测设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本位移旋转一体平台及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及运动平台技术领域，具体而言，涉及一种位移旋转一体平台及晶圆检测设备。位移旋转一体平台包括壳体、位移驱动器、旋转驱动器和动子组件；壳体设有圆柱状的导向腔，动子组件与导向腔配合；导向腔的腔壁设有若干气孔，气孔用于与高压气源连接；位移驱动器与动子组件连接，用于驱动动子组件沿导向腔的轴向移动；旋转驱动器与动子组件连接，用于驱动动子组件绕导向腔的中心轴线旋转。晶圆检测设备包括上述位移旋转一体平台。本实用新型提供的位移旋转一体平台及晶圆检测设备，有较高的精度和运动效率，以及较强的稳定性。
本实用新型位移旋转一体平台及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种位移旋转一体平台，其特征在于，包括壳体100、位移驱动器、旋转驱动器和动子组件400； 所述壳体100设有圆柱状的导向腔，所述动子组件400与所述导向腔配合；所述导向腔的腔壁设有若干气孔，所述气孔用于与高压气源连接；所述位移驱动器与所述动子组件400连接，用于驱动所述动子组件400沿所述导向腔的轴向移动；所述旋转驱动器与所述动子组件400连接，用于驱动所述动子组件400绕所述导向腔的中心轴线旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州天睿精密科技有限公司，其通讯地址为：311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路958号1幢801-14室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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