徐州举力新材料科技有限公司姬科举获国家专利权
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龙图腾网获悉徐州举力新材料科技有限公司申请的专利一种耐受高温的晶圆搬运用仿生增摩结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423113801.7,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种耐受高温的晶圆搬运用仿生增摩结构是由姬科举;吴建铭;姬原鸣;王喜鹏;邓凯;刘静设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐受高温的晶圆搬运用仿生增摩结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆搬运技术领域,公开了一种耐受高温的晶圆搬运用仿生增摩结构,包括握把,所述握把内底部固定连接有第一安装板,所述第一安装板内部右侧前后均固定连接有安装柱,所述第一安装板右侧前后均固定连接有第一连接板,所述第一连接板上部右侧固定连接有第一增摩垫,所述握把下部内侧均匀滑动连接有支撑柱,所述支撑柱下部固定连接有按压板,所述支撑柱上部设置有夹持组件,用于对晶圆进行夹持搬运。本实用新型中,通过按压板、支撑柱、第二安装板、第二连接板、第二增摩垫和弹簧等结构之间的配合,实现了仿生增摩结构可同时对两个晶圆进行夹持,提高了仿生增摩结构的晶圆搬运效率。
本实用新型一种耐受高温的晶圆搬运用仿生增摩结构在权利要求书中公布了:1.一种耐受高温的晶圆搬运用仿生增摩结构,包括握把1,其特征在于:所述握把1内底部固定连接有第一安装板2,所述第一安装板2内部右侧前后均固定连接有安装柱5,所述第一安装板2右侧前后均固定连接有第一连接板3,所述第一连接板3上部右侧固定连接有第一增摩垫4,所述握把1下部内侧均匀滑动连接有支撑柱11,所述支撑柱11下部固定连接有按压板12,所述支撑柱11上部设置有夹持组件,用于对晶圆进行夹持搬运。
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