苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司申请的专利带集尘的晶圆吸附旋转载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651391U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423176344.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型带集尘的晶圆吸附旋转载台是由赵裕兴;丁雪健;冯唐忠设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本带集尘的晶圆吸附旋转载台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种带集尘的晶圆吸附旋转载台，包括吸附上治具板、载台转接板、DD马达、马达底板和吸附下治具板，吸附上治具板和吸附下治具板从上往下依次安装在载台转接板上，安装在马达底板上的DD马达驱动上方的载台转接板旋转；在吸附上治具板和吸附下治具板的一侧均开设有缺口，在马达底板的左侧设置有与缺口相适配的侧推定位机构；在马达底板的底部设置有集尘组件。集成度高：吸附、旋转和集尘一体化设计，设备占用体积小。可靠性：机械真空吸附提供了稳定的吸附力，可确保晶圆在加工过程中的稳定性。通用性：适用于不同尺寸和类型的晶圆，灵活性较高。
本实用新型带集尘的晶圆吸附旋转载台在权利要求书中公布了：1.带集尘的晶圆吸附旋转载台，包括吸附上治具板4、载台转接板5、DD马达6、马达底板10和吸附下治具板13，所述吸附上治具板4和吸附下治具板13从上往下依次安装在载台转接板5上，安装在所述马达底板10上的DD马达6驱动上方的载台转接板5旋转；其特征在于：在所述吸附上治具板4和吸附下治具板13的一侧均开设有缺口11，在所述马达底板10的左侧设置有与所述缺口11相适配的侧推定位机构7；在所述马达底板10的底部设置有集尘组件，所述集尘组件包括第一集尘管27、第二集尘管30和波纹管转接法兰32，所述第一集尘管27通过集尘转接板26安装在马达底板10的底部，所述第二集尘管30通过气管限位块28和集尘加强块29安装在马达底板10的底部，所述第一集尘管27的顶部与载台转接板5底部的集尘口相连接，所述第一集尘管27的底部与第二集尘管30的第一侧相连接，所述第二集尘管30的第二侧通过万向集尘转换块31与波纹管转接法兰32相连接。
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