昆山英博尔电子科技有限公司秦东魁获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山英博尔电子科技有限公司申请的专利一种8寸转6寸晶圆夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223651394U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423241769.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种8寸转6寸晶圆夹具是由秦东魁;熊祥祥设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种8寸转6寸晶圆夹具在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种8寸转6寸晶圆夹具,包括分开设置并配合使用的外基板和内基板,外基板的中间位置开设有8寸圆孔,内基板的中间位置开设有6寸圆孔;外基板的表面靠近四角的位置设置有两个定位体、两个活动夹体,两个定位体、两个活动夹体均以外基板的竖直中心线左右对称设置,外基板的上部外侧边两侧、内基板的上部外侧边两侧分别设置第一缺口、第二缺口;两个定位体分别作用于两个第二缺口,两个活动夹体分别作用于内基板的下部外侧边两侧。本实用新型能够快速地从8寸晶圆型号的通用夹具转变成也能适配6寸晶圆型号的特定夹具,一个夹具两种使用状态,能满足对两种尺寸的晶圆进行夹持固定,操作方便且实用,也降低了生产成本,功能性好。
本实用新型一种8寸转6寸晶圆夹具在权利要求书中公布了:1.一种8寸转6寸晶圆夹具,其特征在于,包括分开设置并配合使用的外基板和内基板,所述外基板的中间位置开设有8寸圆孔,所述内基板的中间位置开设有6寸圆孔; 所述外基板的表面靠近四角的位置设置有两个定位体、两个活动夹体,两个定位体、两个活动夹体均以外基板的竖直中心线左右对称设置,所述外基板的上部外侧边两侧、内基板的上部外侧边两侧分别设置第一缺口、第二缺口; 两个所述定位体分别作用于两个第二缺口,两个所述活动夹体分别作用于内基板的下部外侧边两侧,当内基板被固定于两个定位体、两个活动夹体之间时,所述6寸圆孔与8寸圆孔同心。
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