宸微设备科技(苏州)有限公司孙健博获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利防碰撞装置以及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223651395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423295795.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型防碰撞装置以及半导体设备是由孙健博;李王俊;王硕设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本防碰撞装置以及半导体设备在说明书摘要公布了：一种防碰撞装置以及半导体设备，防碰撞装置通过在升降滑块和顶升组件之间设置限位块，所述限位块包括在竖直方向上的第一端和第二端，所述第一端固定设置在所述顶升组件的底部，所述第二端延伸至所述升降滑块的下方，用于在所述顶升组件上升过程中与所述升降滑块底部抵接。在顶升组件上升的过程中，通过限位块的第二端与升降滑块的底部抵接，阻止顶升组件继续上升，限制顶升组件的位置，从而防止承载平台与顶升组件之间的碰撞，实现对顶升组件和承载平台之间的防碰撞保护。此外，由于限位块设置在顶升组件底部并延伸至升降滑块下方，可在不影响正常升降功能的前提下实现防碰撞保护，进一步提高了半导体设备的运行可靠性。
本实用新型防碰撞装置以及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种防碰撞装置，应用于半导体设备，其特征在于，所述防碰撞装置包括：升降滑块，用于推动承载平台在竖直方向上移动； 顶升组件，位于所述承载平台下方，且在竖直方向上靠近或远离所述承载平台移动，使得承载平台上的晶圆上升或下降； 限位块，包括在竖直方向上的第一端和第二端，所述第一端固定设置在所述顶升组件的底部，所述第二端延伸至所述升降滑块的下方，用于在所述顶升组件上升过程中与所述升降滑块底部抵接。
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