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龙图腾网获悉友达光电(昆山)有限公司;友达光电股份有限公司申请的专利蚀刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223652453U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422654709.5，技术领域涉及：H05K3/06；该实用新型蚀刻装置是由蔡照辉;杨东;夏凡星;李鸿;李翔宇设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本蚀刻装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种蚀刻装置，其包含第一储液槽、第一温控单元及第二温控单元，第一储液槽内部设置有第一导热管路及第二导热管路，第一导热管路具有第一端口及第二端口，第二导热管路具有第三端口及第四端口；第一温控单元经由第一连接管路连接第一端口并经由第二连接管路连接第二端口；第二温控单元经由第三连接管路连接于三端口并经由第四连接管路连接第四端口，且第三端口经由第一阀门连接第一连接管路，第四端口经由第二阀门连接第二连接管路，第三连接管路经由第三阀门连接第四连接管路，第三连接管路上还设置有第四阀门，第四连接管路上还设置有第五阀门。本实用新型可对储液槽内的液体进行快速加热，从而提升了产能。

本实用新型蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种蚀刻装置，设置有喷洒组件，其特征在于，该蚀刻装置还包含，第一储液槽，经由第一输液管路连接该喷洒组件，该第一储液槽内部设置有第一导热管路及第二导热管路，该第一导热管路具有相对的第一端口及第二端口，该第二导热管路具有相对的第三端口及第四端口； 第一温控单元，经由第一连接管路连接该第一端口并经由第二连接管路连接该第二端口；以及第二温控单元，经由第三连接管路连接于该三端口并经由第四连接管路连接该第四端口，且该第三端口经由第一阀门连接该第一连接管路，该第四端口经由第二阀门连接该第二连接管路，该第三连接管路经由第三阀门连接该第四连接管路，该第三连接管路上还设置有第四阀门，该第四连接管路上还设置有第五阀门； 于第一使用模式下，该第一阀门、该第二阀门及该第三阀门打开，且该第四阀门及该第五阀门关闭，该第一温控单元内具有第一预设温度的第一流质自该第一连接管路依次流经该第一导热管路及该第二导热管路后返回该第一温控单元，且第二温控单元内具有第二预设温度的第二流质自该第三连接管路经该第三阀门及该第四连接管路后返回该第二温控单元。

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