扬州扬杰电子科技股份有限公司王坤获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利具有P型掩蔽层的多晶硅沟槽SiC二极管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223652616U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423253084.8,技术领域涉及:H10D8/60;该实用新型具有P型掩蔽层的多晶硅沟槽SiC二极管是由王坤;杨程;王正;万胜堂;马驰远;朱秀梅;王毅设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有P型掩蔽层的多晶硅沟槽SiC二极管在说明书摘要公布了:具有P型掩蔽层的多晶硅沟槽SiC二极管,涉及半导体技术领域。SiCSBD二极管中利用氧化层将Poly电极与N‑漂移层绝缘,形成平面电容器,在反向阻断时Poly电极两侧排斥周围的电子,使上层N‑漂移层耗尽区扩展,肖特基界面处的电场强度下降,减弱肖特基效应,减小漏电。同时利用刻蚀沟槽将P型掩蔽层延伸至N‑漂移层内部,且与正极连接等电位,在器件反向阻断时,电场峰值由表面向下移动,远离肖特基界面,从而减小漏电。
本实用新型具有P型掩蔽层的多晶硅沟槽SiC二极管在权利要求书中公布了:1.具有P型掩蔽层的多晶硅沟槽SiC二极管,其特征在于,包括从下而上依次设置的背面金属10、N+衬底层1、N型缓冲层2、N‑漂移层3、肖特基金属8和正面金属9; 所述N‑漂移层3上设有: Poly层7,设有若干,分别从所述N‑漂移层3顶面向下延伸; 氧化层6,设有若干,分别位于所述Poly层7与N‑漂移层3之间;所述氧化层6顶面与Poly层7顶面齐平,所述氧化层6底面与Poly层7底面齐平; P型掩蔽层5,设置在所述氧化层6和Poly层7的底面和拐角处。
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