天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司张孟伦获国家专利权
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龙图腾网获悉天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利电极厚度不对称的体声波谐振器、滤波器和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111384909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811607891.1,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权电极厚度不对称的体声波谐振器、滤波器和电子设备是由张孟伦;庞慰;杨清瑞设计研发完成,并于2018-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本电极厚度不对称的体声波谐振器、滤波器和电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构,顶电极、压电层、底电极与声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠部分形成有效区域;以及三明治结构的一侧的增强结构,所述增强结构用于反射声波提高Q值,其中:位于所述三明治结构的所述一侧的电极的厚度小于位于所述三明治结构的另一侧的电极的厚度。本发明也涉及一种滤波器以及具有该滤波器的电子设备。
本发明授权电极厚度不对称的体声波谐振器、滤波器和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,包括: 基底; 声学镜; 由顶电极、压电层和底电极构成的三明治结构,顶电极、压电层、底电极与声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠部分形成有效区域; 设置在三明治结构的一侧的增强结构, 其中: 所述顶电极包括金属层以及设置于金属层上的工艺层,金属层与工艺层的厚度之和为所述顶电极的厚度; 在谐振器的整个有效区域内,位于所述三明治结构的设置有所述增强结构的所述一侧的电极的厚度为位于所述三明治结构的另一侧的电极的厚度的二分之一,从而导致谐振器的机电耦合系数下降; 为避免前述机电耦合系数下降,在所述压电层掺杂有如下元素中的一种或多种:钪、钇、镁、钛、镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥,且掺杂元素的原子分数范围为1%-40%,以使得所述体声波谐振器的机电耦合系数相对于两个电极厚度相同的对比结构的机电耦合系数不变。
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