康宁股份有限公司金榛洙获国家专利权
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龙图腾网获悉康宁股份有限公司申请的专利低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112233985B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010618986.4，技术领域涉及：H01L21/50；该发明授权低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产是由金榛洙;肖宇设计研发完成，并于2020-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产在说明书摘要公布了：提供了低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产。扇出型加工的方法包括：提供或获得熔合玻璃层压片或晶片，其具有芯体层以及第一包层和第二包层，所述芯体层包括具有芯体玻璃热膨胀系数α芯体的芯体玻璃，所述第一包层和第二包层各自包括具有包层玻璃热膨胀系数α包层的包层玻璃，其中，α包层α芯体；将集成电路装置固定到层压片或晶片的第一包层；在集成电路装置上或上方形成扇出层；以及移除一些第二包层以减少其上具有集成电路装置和扇出层的片材或晶片的翘曲。还公开了生产具有选定CTE的层压片或晶片的方法。
本发明授权低翘曲扇出型加工方法及其基材的生产在权利要求书中公布了：1.一种扇出型加工的方法，所述方法包括： 提供或获得熔合玻璃层压片或晶片，其包括芯体层、第一包层和第二包层，所述芯体层具有芯体层厚度t芯体并且包括具有芯体玻璃热膨胀系数α芯体、芯体玻璃泊松比ν芯体和芯体玻璃弹性E芯体的芯体玻璃，所述第一包层和所述第二包层各自包括包层玻璃厚度t包层并且各自包括具有小于所述芯体玻璃热膨胀系数α芯体的包层玻璃热膨胀系数α包层、包层玻璃泊松比ν包层和包层玻璃弹性E包层的包层玻璃， 选择期望的熔合玻璃层压片或晶片的有效热膨胀系数α有效，所述α有效大于 并且小于α芯体，以及 薄化第一包层和第二包层以产生薄化的第一包层和薄化的第二包层，该薄化的第一包层和薄化的第二包层各自具有厚度t薄化，所述t薄化在以下范围内： 从 至 其中，P为0.1、0.05、0.02、0.01或者0.005之一； 将集成电路装置固定到所述第一包层； 在集成电路装置上或上方形成第一扇出层；以及 移除一些第二包层以减少具有所述集成电路装置和所述扇出层的所述熔合玻璃层压片或晶片的翘曲。
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