FEI 公司B·J·詹森获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利制造带电粒子检测器的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112242284B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010686356.0，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权制造带电粒子检测器的方法是由B·J·詹森;P·多纳设计研发完成，并于2020-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造带电粒子检测器的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种制造带电粒子检测器的方法，其包括以下步骤：提供诸如有源像素传感器APS之类的传感器设备。所述传感器设备至少包括衬底层和敏感层。该方法进一步包括以下步骤：提供机械支撑层并且将所述机械支撑层连接到所述传感器设备。在连接之后，敏感层位于所述衬底层与所述机械支撑层之间。通过连接机械支撑层，有可能减薄所述衬底层以用于形成所述带电粒子检测器。机械支撑层形成制造的检测器的一部分。该检测器可以被用于带电粒子显微镜，诸如用于进行直接电子检测的透射电子显微镜。
本发明授权制造带电粒子检测器的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造直接带电粒子检测器的方法，其包括以下步骤： -提供传感器设备，其中，所述传感器设备包括衬底层、敏感层和在所述敏感层的顶部上的钝化层； -提供机械支撑层，并且以下面这样的方式将所述机械支撑层连接到所述钝化层，该方式为敏感层位于所述衬底层与所述机械支撑层之间；以及 -使所述衬底层减薄以用于形成所述带电粒子检测器； 其中所述钝化层包括用于读出由敏感层中的传入电子感应的信号的电子器件和互连，并且包括：第一子层，第一子层包含比所述敏感层重掺杂的阱；以及第二子层，第二子层包括氧化物和金属层，并且其中所述机械支撑层包括碳。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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