中国计量科学研究院孙青获国家专利权
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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利高功率激光功率测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112504447B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011445319.7,技术领域涉及:G01J1/56;该发明授权高功率激光功率测量系统是由孙青;林延东;马冲设计研发完成,并于2020-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本高功率激光功率测量系统在说明书摘要公布了:本发明公开了高功率激光功率测量系统,涉及激光测量技术领域。包括:测量反射镜、测量模块和反射镜组,其中,测量反射镜的非反光面与测量模块的测量端连接,且测量模块的测量方向与测量反射镜的反光面垂直,反射镜组用于改变入射的高功率激光的光路,使高功率激光经过测量反射镜的反射后沿入射光路的方向射出。发明测量系统的体积小、重量轻、响应速度快、无需水冷且可在线测量,测量准确度高且稳定性好。
本发明授权高功率激光功率测量系统在权利要求书中公布了:1.一种高功率激光功率测量系统,其特征在于,包括:测量反射镜组、测量模块和反射镜组; 所述测量反射镜组包括:第一测量反射镜和第二测量反射镜; 反射镜组包括:第一反射镜和第二反射镜,laser为激光源; 所述第一测量反射镜的非反光面与测量模块的测量端连接,且测量模块的测量方向与第一测量反射镜的反光面呈预设角度;第二测量反射镜的非反光面与测量模块的测量端连接,且测量模块的测量方向与第二测量反射镜的反光面呈预设角度; 所述第一反射镜用于改变经第一测量反射镜反射的高功率激光的出射光路的方向,使高功率激光射向第二反射镜,第二反射镜用于改变经第一反射镜反射的高功率激光的出射光路的方向,使高功率激光射向第二测量反射镜,第二测量反射镜用于改变经第二反射镜反射的高功率激光的出射光路的方向,使高功率激光沿射向第一测量反射镜的入射光路的方向射出; 为了减少损耗和发热,测量反射镜和反射镜反射率高于99.9%,窗口透射率高于99.8%; 测量模块为力传感器、质量传感器或位移传感器; 若采用质量传感器,当功率为P的激光照射到测量反射镜上时,测量模块测得的质量m为: 其中,c为真空光速,g为重力加速度,θ为激光入射角度,R和A分别为反射镜的反射率和吸收率;当激光照射到测量反光镜后,会在测量反光镜的反光面产生光压,根据测量模块的质量读数即得到入射激光的功率; 还包括外壳,所述外壳用于将整个系统设置在外壳内,在光路通过的位置处设置窗口; 由于光子虽然没有静止质量但是有动量,当激光照射到物体表面时会产生压力,因此通过测量模块采集测量反射镜上由高功率激光产生的光压,根据测量模块与激光功率之间的比例关系,测得高功率激光的功率,相比于量热方法,测量系统的体积小、重量轻、响应速度快、无需水冷且能够在线测量,相比于取样方法,测量准确度高且稳定性好,还具有响应速度快、测量准确度高和在线测量的优点; 所述测量模块的测量方向与高功率激光的入射光路的方向垂直,且测量模块的测量方向为重力方向; 通过将测量模块的测量方向设置为重力方向,避免测量反光镜自重产生的扭矩对测量模块的测量结果产生影响,消除了测量模块校准姿态与测量姿态不一致引入的额外测量误差,测量反射镜自重只要不超过测量模块最大称量,不会产生扭矩对测量结果产生影响,从而提高测量的准确性。
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