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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利数据处理方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113205109B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110003618.3，技术领域涉及：G06F18/2431；该发明授权数据处理方法以及存储介质是由犹原英司;池内崇设计研发完成，并于2021-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本数据处理方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种数据处理方法以及存储介质。数据处理方法包含获取时间序列数据的步骤、获取评估值的步骤、分类步骤及提取步骤。在获取时间序列数据的步骤中，获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据。在获取评估值的步骤中，获取多个时间序列数据各自的评估值。在分类步骤中，基于评估值，将多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个。在提取步骤中，提取与多个类别中的任一个对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据。

本发明授权数据处理方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种数据处理方法，包含下述步骤： 获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据； 获取所述多个时间序列数据各自的评估值； 基于所述评估值，将所述多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个； 提取与所述多个类别中包含呈现出异常的倾向的时间序列数据的类别即对象类别对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据； 对所述提取时间序列数据进行聚类处理而分类为多个群集中的任一个； 对所述基板处理装置的控制进行变更； 从经控制变更的所述基板处理装置获取时间序列数据以作为变更时间序列数据； 获取所述变更时间序列数据的评估值； 基于所述变更时间序列数据的评估值，将所述变更时间序列数据分类为所述多个类别中的任一个； 在所述变更时间序列数据被分类为所述对象类别的情况下，提取所述变更时间序列数据来作为所述提取时间序列数据； 在所述变更时间序列数据不被分类为所述对象类别的情况下，将与所述基板处理装置经控制变更的变更内容相关的信息存储；以及 生成学习数据库，所述学习数据库是对与所述提取时间序列数据对应的群集，赋予有与所述时间序列数据对应的关于所述基板处理装置的变更内容的信息即原因对策信息， 所述多个群集包括上升延迟群集、波峰变动群集及低波峰群集， 所述上升延迟群集包含处理液浓度下降阀重新拧紧作为所述原因对策信息，所述波峰变动群集包含基板保持力下降过电流抑制作为所述原因对策信息，所述低波峰群集包含环境不均匀传感器重新启动作为所述原因对策信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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