中国科学院微电子研究所马会娟获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利硅片高度数据的处理系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113871323B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111023756.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权硅片高度数据的处理系统及方法是由马会娟;李璟;丁敏侠;卢增雄;武志鹏;陈进新设计研发完成，并于2021-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片高度数据的处理系统及方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种硅片高度数据的处理系统及方法，系统包括：数据采集模块，包括多路信号采集通道，用于并行采集所述硅片表面的至少一个探测点对应的数据；控制模块，用于在位移台运动至所述硅片上的目标位置时，接收同步触发信号以同步触发所述数据采集模块进行数据采集，其中，所述控制模块基于嵌入式FPGA芯片实现；并串转换模块，用于将并行采集的数据转换为串行数据；VPX数据传输接口模块，用于接收所述串行数据，并将所述串行数据转换为并行数据，其中，所述VPX数据传输接口模块与所述并串转换模块之间通过VPX串行总线传输协议进行数据传输；上位机，用于对所述并行数据进行处理。
本发明授权硅片高度数据的处理系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片高度数据的处理系统，包括： 数据采集模块，包括多路信号采集通道，用于并行采集所述硅片表面的至少一个探测点对应的数据； 控制模块，用于在位移台运动至所述硅片上的目标位置时，接收同步触发信号以同步触发所述数据采集模块进行数据采集，其中，所述控制模块基于嵌入式FPGA芯片实现； 并串转换模块，用于将并行采集的数据转换为串行数据； VPX数据传输接口模块，用于接收所述串行数据，并将所述串行数据转换为并行数据，其中，所述VPX数据传输接口模块与所述并串转换模块之间通过VPX串行总线传输协议进行数据传输； 上位机，用于对所述并行数据进行处理； 电平采集模块，用于采集所述控制模块接收的信号的高电平； 判断模块，用于判断是否能够连续多个时钟采集到高电平，并在能够连续多个时钟采集到高电平的情况下，发送信号至所述控制模块以提示当前接收到的信号为所述同步触发信号。
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