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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068374B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110862380.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权衬底处理装置是由河原启之;菊本宪幸设计研发完成，并于2021-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种衬底处理装置。衬底处理装置1具备第1搬送部6a及第2搬送部6b。第2搬送部6b设置在第1搬送部6a的下方。第1搬送部6a具有第1搬送空间61a、第1搬送FFU11、12及第1地板部71。第1搬送FFU11、12设置在第1搬送空间61a的上方。第1地板部71具有多个第1通过孔。第1地板部71设置在第1搬送空间61a的下方。第2搬送部6b具有第2搬送空间61b、第2搬送FFU13、14、第2地板部72及排气风扇73。第2搬送FFU13、14设置在第1地板部71的下方。第2地板部72具有多个第2通过孔。第2地板部72设置在第2搬送空间61b的下方。排气风扇73设置在第2地板部72的下方。

本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，处理衬底，且具备： 处理部，处理所述衬底； 第1搬送部，与所述处理部邻接；及 第2搬送部，与所述处理部邻接，设置在所述第1搬送部的下方； 所述第1搬送部具有： 第1衬底搬送部，搬送所述衬底； 第1搬送空间，收容所述第1衬底搬送部； 第1搬送风扇过滤单元，设置在所述第1搬送空间的上方，从所述第1搬送空间的上方朝向下方供给气体；及 第1地板部，具有多个第1通过孔，设置在所述第1搬送空间的下方； 所述第2搬送部具有： 第2衬底搬送部，搬送所述衬底； 第2搬送空间，收容所述第2衬底搬送部； 第2搬送风扇过滤单元，设置在所述第1地板部的下方，从所述第2搬送空间的上方朝向下方供给气体； 第2地板部，具有多个第2通过孔，设置在所述第2搬送空间的下方；及 排气风扇，设置在所述第2地板部的下方，将通过所述多个第2通过孔的气体排出；其中 所述第1搬送部还具有与所述处理部邻接的第1侧壁部， 所述第2搬送部还具有与所述处理部邻接且设置在所述第1侧壁部的下方的第2侧壁部， 所述第1侧壁部与所述第2侧壁部中的至少一个还具有：在所述第1侧壁部与所述第2侧壁部之间，形成所述第1侧壁部与所述第2侧壁部于上下方向对向的间隙的间隙形成部， 所述间隙于所述第1搬送部及所述第2搬送部与外部之间连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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