细美事有限公司张容硕获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256101B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111110321.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备是由张容硕;朴仁奎设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：公开了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：转位单元，所述转位单元包括负载罐和转位室，容器安放在所述负载罐中，所述转位室连接到所述负载罐；以及处理执行单元，所述处理执行单元具有连接到所述转位室的负载锁定室和处理传送到所述负载锁定室的基板的处理室，所述转位单元还包括设置在所述转位室中并且对准传送到所述处理室的基板型传感器的对准单元。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 转位单元，所述转位单元包括负载罐和转位室，在所述负载罐中安放容器，所述转位室连接到所述负载罐；以及 处理执行单元，所述处理执行单元具有连接到所述转位室的负载锁定室和配置为处理传送到所述负载锁定室的基板的处理室，以及 控制器，其中所述转位单元还包括： 对准单元，所述对准单元设置在所述转位室中并且配置为将传送到所述处理室的基板型传感器对准， 其中所述对准单元包括： 支撑构件，所述支撑构件包括支撑板且配置为支撑所述基板型传感器；以及 传感器构件，所述传感器构件配置为感测形成在所述基板型传感器中的凹口是否被对准， 其中所述转位单元还包括： 第一传送机器人，所述第一传送机器人设置在所述转位室中并且配置为从所述容器中取出所述基板型传感器； 其中所述控制器配置为： 控制所述第一传送机器人以从所述容器中取出所述基板型传感器并将所述基板型传感器安放在所述支撑板上；以及 控制所述第一传送机器人和所述对准单元以通过改变所述支撑板的位置和或旋转所述支撑板来将所述基板型传感器对准，并且 当确定所述对准单元不可能将所述基板型传感器对准时，控制所述第一传送机器人以将安放在所述支撑板上的所述基板型传感器传送到所述容器。
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