买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利发射率测量装置及方法、半导体加工设备及红外测温方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114636477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210359289.0，技术领域涉及：G01J5/00；该发明授权发射率测量装置及方法、半导体加工设备及红外测温方法是由陈路路;赵海洋设计研发完成，并于2022-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本发射率测量装置及方法、半导体加工设备及红外测温方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种发射率测量装置及方法、半导体加工设备及红外测温方法，发射率测量装置用于测量被测件的发射率，发射率测量装置中，反射件支撑件用于支撑第一反射件和第二反射件，第一反射件和第二反射件均与被测件相对；第一红外辐射能量计用于测量被测件发射的能量以及被测件发射的经过第一反射件反射的能量，第二红外辐射能量计用于测量被测件发射的能量以及被测件发射的经过第二反射件反射的能量；第一红外辐射能量计和第二红外辐射能量计均与计算元件相连，计算元件用于根据第一红外辐射能量计和第二红外辐射能量计的测量值计算被测件的发射率。本申请可解决使用固定发射率的红外高温计测量不准确的问题。

本发明授权发射率测量装置及方法、半导体加工设备及红外测温方法在权利要求书中公布了：1.一种发射率测量装置，用于测量被测件800的发射率，其特征在于，包括第一反射件300、第二反射件400、反射件支撑件500、第一红外辐射能量计600、第二红外辐射能量计700以及计算元件； 所述反射件支撑件500用于支撑所述第一反射件300和所述第二反射件400，所述第一反射件300和所述第二反射件400均与所述被测件800相对； 所述第一红外辐射能量计600的探头穿过所述第一反射件300与所述被测件800相对，所述第一红外辐射能量计600用于测量所述被测件800发射的能量以及所述被测件800发射的经过所述第一反射件300反射的能量；所述第二红外辐射能量计700的探头穿过所述第二反射件400与所述被测件800相对，所述第二红外辐射能量计700用于测量所述被测件800发射的能量以及所述被测件800发射的经过所述第二反射件400反射的能量； 所述第一红外辐射能量计600和所述第二红外辐射能量计700均与所述计算元件相连，所述计算元件用于根据第一红外辐射能量计600和所述第二红外辐射能量计700的测量值计算所述被测件800的发射率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。