中微半导体设备(上海)股份有限公司姜勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种晶片传输腔，晶片沉积系统及晶片取出方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011601455.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶片传输腔，晶片沉积系统及晶片取出方法是由姜勇;汪国元设计研发完成，并于2020-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片传输腔，晶片沉积系统及晶片取出方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一晶片传输腔，通过支撑组件和取片组件的配合，使晶片和托盘实现分离，取片组件可以相对支撑组件上下运动以从晶片背面托起晶片致晶片与托盘分离，方便后续机器臂将分离后的晶片放入晶片盒，同时，避免了从正面边缘接触晶片造成的颗粒污染，利用系统的对支撑组件和取片组件的匀性轨迹进行控制，能实现更稳定快速的取片流程，有利于提高整体效率。
本发明授权一种晶片传输腔，晶片沉积系统及晶片取出方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片传输腔，用于存放承载晶片的托盘，其特征在于，包括： 设置有两个传片口的腔室，其中一个所述传片口用于容纳承载晶片的托盘进出，另一个所述传片口用于取出所述晶片； 位于所述腔室内的支撑组件，所述支撑组件与所述托盘活动连接，用于放置托盘； 所述托盘包括多个内径大于晶片直径的圆孔，所述圆孔内包括与晶片接触的承载面； 位于所述腔室内的取片组件，用于使晶片与托盘分离； 所述支撑组件和或取片组件可以转动，且所述支撑组件和或取片组件可以沿着竖直方向运动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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