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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理系统及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695184B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111569127.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理系统及衬底处理方法是由石井弘晃;石井淳一;本庄一大设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理系统及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底处理方法。衬底处理系统具备：第1衬底保持单元，包含从下侧与具有保护对象面及所述保护对象面相反侧的洗净对象面的衬底对向的第1基座，将所述衬底以所述保护对象面朝向上侧的第1姿势保持；保护膜涂布喷嘴，对于由所述第1衬底保持单元保持的所述衬底的所述保护对象面，至少在周缘部涂布保护膜；第1翻转单元，与所述衬底的周缘部接触并使所述衬底翻转，以使得所述衬底的姿势从所述第1姿势变化为所述保护对象面朝向下侧的第2姿势；第2衬底保持单元，包含从下侧与所述衬底对向的第2基座，将所述衬底以所述第2姿势保持；以及洗净单元，将由所述第2衬底保持单元保持的所述衬底的所述洗净对象面洗净。

本发明授权衬底处理系统及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，具备：第1衬底保持单元，包含从下侧与具有保护对象面及所述保护对象面相反侧的洗净对象面的衬底对向的第1基座，将所述衬底以所述保护对象面朝向上侧的第1姿势保持； 保护膜涂布喷嘴，对于由所述第1衬底保持单元保持的所述衬底的所述保护对象面，至少在周缘部涂布保护膜； 第1翻转单元，与所述衬底的周缘部接触并使涂布着所述保护膜的状态的所述衬底翻转，以使得所述衬底的姿势从所述第1姿势变化为所述保护对象面朝向下侧的第2姿势； 第2衬底保持单元，包含从下侧与所述衬底对向的第2基座，将所述衬底以所述第2姿势保持； 洗净单元，将由所述第2衬底保持单元保持的所述衬底的所述洗净对象面洗净； 第2翻转单元，与所述衬底的周缘部接触并使所述衬底翻转，以使得所述衬底的姿势从所述第2姿势变化为所述第1姿势； 第3衬底保持单元，包含从下侧与所述衬底对向的第3基座，将所述衬底以所述第1姿势保持；以及 去除液喷嘴，将从所述保护对象面去除所述保护膜的去除液供给至由所述第3衬底保持单元保持的所述衬底的所述保护对象面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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