纽富来科技股份有限公司七尾翼获国家专利权
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龙图腾网获悉纽富来科技股份有限公司申请的专利多带电粒子束描绘方法以及多带电粒子束描绘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114787967B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180006990.8，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权多带电粒子束描绘方法以及多带电粒子束描绘装置是由七尾翼;饭塚修设计研发完成，并于2021-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本多带电粒子束描绘方法以及多带电粒子束描绘装置在说明书摘要公布了：以多射束高精度地测定标记位置。多带电粒子束描绘方法形成带电粒子束以规定间距配置的多射束30a～30e，通过依次切换使上述多射束30a～30e中的一部分区域的射束导通的导通射束区域，由此一边使上述带电粒子束的照射位置偏移，一边向设置于规定位置且宽度比上述规定间距宽的标记M照射上述导通射束区域的射束，检测来自上述标记M的反射带电粒子信号，计算上述标记M的位置，基于计算出的上述标记M的位置，调整上述多射束的照射位置来描绘图案。
本发明授权多带电粒子束描绘方法以及多带电粒子束描绘装置在权利要求书中公布了：1.一种多带电粒子束描绘方法，其特征在于， 形成以规定间距在具有多个照射位置的射束区域配置K根带电粒子束的多射束， 通过在上述射束区域内沿规定方向依次偏移使上述多射束中的L根射束导通的导通射束区域，由此一边切换上述射束区域内的上述L根射束的照射位置，一边向设置于规定位置且宽度比上述规定间距宽的标记照射上述导通射束区域的上述L根射束，检测来自上述标记的反射带电粒子信号，计算上述标记的位置，其中，LK， 基于计算出的上述标记的位置，调整上述多射束的照射位置来描绘图案。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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