应用材料公司伊利亚·拉维特斯凯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利隔绝环夹具及并入隔绝环夹具的物理气相沉积腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115053013B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008852.3，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权隔绝环夹具及并入隔绝环夹具的物理气相沉积腔室是由伊利亚·拉维特斯凯;基思·A·米勒设计研发完成，并于2021-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本隔绝环夹具及并入隔绝环夹具的物理气相沉积腔室在说明书摘要公布了：此处提供用于物理气相沉积的装置。在某些实施例中，一种在物理气相沉积PVD腔室中使用的夹具，包括夹具主体及从夹具主体延伸的向外延伸的架子，其中向外延伸的架子包括夹持表面，配置成将隔绝环夹持至PVD腔室的腔室主体，其中向外延伸的架子的高度为夹具主体的高度的约百分之15至约百分之40，且其中夹具主体包括中心开口，配置成在中心开口中保持紧固件。
本发明授权隔绝环夹具及并入隔绝环夹具的物理气相沉积腔室在权利要求书中公布了：1.一种在物理气相沉积PVD腔室中使用的夹具，包含： 夹具主体及从所述夹具主体延伸的向外延伸的架子，其中所述向外延伸的架子包括夹持表面，配置成将隔绝环夹持至所述PVD腔室的腔室主体，其中所述向外延伸的架子的高度为所述夹具主体的高度的约百分之15至约百分之40，且其中所述夹具主体包括中心开口，配置成在所述中心开口中保持紧固件。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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