AP系统股份有限公司梁相熙获国家专利权
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龙图腾网获悉AP系统股份有限公司申请的专利紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115069518B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210244114.5，技术领域涉及：B05D3/06；该发明授权紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法是由梁相熙;刘正必;崔锺权;白种化设计研发完成，并于2022-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法。衬底处理方法包括：制备涂布有光固化材料的衬底；将衬底安置在衬底支撑件上；在衬底上方使用衬底的局部区域形成用于衬底的处理空间；在处理空间中形成惰性气体气氛；以及在其中形成有惰性气体气氛的处理空间中辐照紫外光。由于用于衬底的处理空间局部地形成在衬底上方，因此可改善衬底处理效率。
本发明授权紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种紫外固化装置，包括： 主体，被安装成沿着待处理对象的上部部分移动； 紫外灯，安装在所述主体的下部部分上； 壁部，连接到所述主体的下部部分，以在所述待处理对象与所述主体的下部部分之间形成处理空间； 气体供应部，具有安装在所述壁部上的部分，以向所述处理空间供应惰性气体；以及 控制单元，被配置成控制所述气体供应部的操作， 其中所述壁部包括在垂直方向上延伸的本体部及设置在所述本体部下方且朝向所述主体的内部弯曲的延伸部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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