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应用材料以色列公司D·密特斯获国家专利权

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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利高电压供应电压的噪声降低获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115668432B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180039141.2,技术领域涉及:H01J37/248;该发明授权高电压供应电压的噪声降低是由D·密特斯设计研发完成,并于2021-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。

高电压供应电压的噪声降低在说明书摘要公布了:一种可包括噪声降低单元MNRU和偏压设置单元BSU的方法和高电压HV系统。HV系统可在高电压供应线上从HV供应单元接收HV供应信号。HV供应单元、MNRU、BSU和HV带电粒子系统可共享接地。至少MNRU可检测HV供应信号中的噪声,并且通过接地发送噪声补偿信号。BSU可接收关于偏压电压的请求值的指示,并且将偏压电压施加至经噪声补偿的HV信号,以将经偏压的和经噪声补偿的HV信号提供至HV带电粒子系统。

本发明授权高电压供应电压的噪声降低在权利要求书中公布了:1.一种高电压系统,所述高电压系统包括: 噪声降低单元;以及 偏压设置单元; 其中所述噪声降低单元和所述偏压设置单元被配置成在高电压供应线上并且从高电压供应单元接收高电压供应信号; 其中所述噪声降低单元和所述偏压设置单元耦合至接地,所述接地还由高电压带电粒子系统和所述高电压供应单元共享; 其中所述噪声降低单元被配置成检测所述高电压供应信号中的噪声,并且发送用于补偿所述噪声的噪声补偿信号通过所述接地,以提供经噪声补偿的高电压信号;并且 其中所述偏压设置单元被配置成接收关于偏压电压的请求值的指示,以及将所述偏压电压施加至所述经噪声补偿的高电压信号,以将经偏压的和经噪声补偿的高电压信号提供至所述高电压带电粒子系统。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列瑞哈佛特市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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