芝浦机械电子装置株式会社広濑圭刚获国家专利权
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龙图腾网获悉芝浦机械电子装置株式会社申请的专利铺贴装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115881600B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211193423.0,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权铺贴装置是由広濑圭刚设计研发完成,并于2022-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本铺贴装置在说明书摘要公布了:本发明的目的在于提供一种能够以高精度将模块铺贴至基板的铺贴装置。铺贴装置包括:载台31,支撑基板1;头32,将搭载有多个元件的模块2搬送至面向基板1的位置;拍摄部33,隔着由头32所保持的模块2而面向基板1,在同一视野内拍摄设于基板1的对准标记M与设于模块2的对准标记m;以及焦距调整部34,设于连结对准标记M与拍摄部33的光路上,调整拍摄部33相对于对准标记M的焦距,以使拍摄部33的焦点同时对准对准标记M、m,头32基于拍摄部33所拍摄的图像来将模块2铺贴至基板1。
本发明授权铺贴装置在权利要求书中公布了:1.一种铺贴装置,包括: 载台,支撑基板; 头,将搭载有多个元件的模块搬送至面向所述基板的位置; 拍摄部,隔着由所述头所保持的所述模块而面向所述基板,在同一视野内拍摄设于所述基板的第一对准标记与设于所述模块的第二对准标记;以及 焦距调整部,设于连结所述第一对准标记与所述拍摄部的光路上,调整所述拍摄部相对于所述第一对准标记的焦距,以使所述拍摄部的焦点同时对准所述第一对准标记与所述第二对准标记, 所述头基于所述拍摄部所拍摄的图像来将所述模块铺贴至所述基板, 其中在经由所述焦距调整部来使所述拍摄部的焦点对准所述第一对准标记的状态下,所述头根据由所述头所保持的所述模块的厚度来使所述模块朝接近远离所述拍摄部的方向移动,从而使所述拍摄部的焦点对准所述第二对准标记。
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