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有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司王兴权获国家专利权

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龙图腾网获悉有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司申请的专利一种高纯铝合金靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116103622B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211611028.X,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种高纯铝合金靶材及其制备方法是由王兴权;丁照崇;曹晓萌;万小勇;王焕焕;何金江;尚再艳;曹梓琪设计研发完成,并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高纯铝合金靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及磁控溅射靶材技术领域,尤其涉及一种高纯铝合金靶材及其制备方法,制备方法包括制备铝熔液、M熔液加料、合金熔炼及浇注和靶材制备。本发明的制备方法先将铝锭原料采用感应熔炼熔化为铝熔液,再采用高能束流将置于感应坩埚正上方的高熔点M棒料底端熔化形成M熔液,高熔点金属M直接以液态形式加入铝熔液中,为液‑液混合熔炼,这样,一方面避免了高温金属沉底坩埚或反应不充分,从而导致合金成分失配的问题,另一方面,液‑液混合可快速形成铝合金熔液,从而极大降低熔炼温度,避免了高温导致的铝挥发及熔液与坩埚反应引杂。

本发明授权一种高纯铝合金靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高纯铝合金靶材的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1制备铝熔液:采用感应熔炼将置于感应坩埚内的铝合金靶材主成分铝锭原料熔化为铝熔液;其中,所述铝合金靶材包括铝和金属M,所述铝占所述铝合金靶材的质量百分数为50%以上; 步骤2M熔液加料:采用高能束流将置于所述感应坩埚正上方的M棒料底端熔化,形成的M熔液流入所述步骤1中形成的所述铝熔液内,形成AlM熔液;通过所述M棒料上端连接的电子称重传感器与高能束流设备联动控制,使得流入所述铝熔液的所述M熔液质量满足合金配比要求;所述高能束流包括电子束、离子束或激光束;电子束的功率为10kw~100kw;离子束的功率为10kw~50kw;激光束的功率为5kw~50kw; 步骤3合金熔炼及浇注:通过调整所述感应熔炼的温度及搅拌条件将所述步骤2形成的所述AlM熔液均匀混合后浇注到模具内凝固成合金铸锭; 步骤4靶材制备:将所述步骤3得到的所述合金铸锭制备成所述铝合金靶材。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司,其通讯地址为:102200 北京市昌平区超前路33号1幢1至3层01;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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