上海华力集成电路制造有限公司金鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利自动跳货方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344402B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310334880.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权自动跳货方法是由金鑫;瞿燕;刘飞珏设计研发完成，并于2023-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本自动跳货方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种自动跳货方法，所述方法包括：晶圆通过扫描进入YE站点进行跳货时，根据晶圆在进入YE站点前所执行的recipe对YE站点的扫描机台设置机台最小允许等待时间、机台最大允许等待时间及机台允许剩余等待时间，并根据扫描机台的类型对所述机台最小允许等待时间的数值进行设置；判断晶圆当前剩余等待时间是否大于机台允许剩余等待时间，若判断结果为否，直接执行跳货，若判断结果为是，根据机台最小允许等待时间、机台允许剩余等待时间及晶圆当前剩余等待时间判断是否对晶圆进行跳货。通过本发明解决了以现有的自动跳货方法进行自动跳货时存在的针对性差及时效性差的问题。
本发明授权自动跳货方法在权利要求书中公布了：1.一种自动跳货方法，其特征在于，所述方法包括： 晶圆通过扫描进入YE站点进行跳货时，根据晶圆在进入YE站点前所执行的recipe对YE站点的扫描机台设置机台最小允许等待时间、机台最大允许等待时间及机台允许剩余等待时间，并根据扫描机台的类型对所述机台最小允许等待时间的数值进行设置； 判断晶圆当前剩余等待时间是否大于所述机台允许剩余等待时间，若判断结果为否，直接执行跳货，若判断结果为是，根据所述机台最小允许等待时间、所述机台允许剩余等待时间及所述晶圆当前剩余等待时间判断是否对晶圆进行跳货； 根据所述机台最小允许等待时间、所述机台允许剩余等待时间及所述晶圆当前剩余等待时间判断是否对晶圆进行自动跳货方法包括：判断所述晶圆当前剩余等待时间减去所述机台允许剩余等待时间与所述机台最小允许等待时间之和的计算结果是否大于0； 若判断结果为否，则对晶圆直接执行自动跳货，若判断结果为是，则晶圆继续等待跳货。
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