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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种离子束流加速管装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116417316B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111656352.9，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种离子束流加速管装置是由李世才;马国宇;蔡杨烁;王金超;王晓刚;张伟星设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子束流加速管装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子束流加速管装置，包括加速管入口电极组件，加速管中间组件，加速管出口组件；聚焦硅堆作为连接聚焦电源与加速管中间组件的连接件，能有效防止电流回流，卸放电阻作为连接加速管中间组件与聚焦电源的连接件，能有效防止回路电流过大；加速管支撑焊接件可对加速管进行支撑固定；硅橡胶材质的加速管整体防护罩可有效预防加速管表面的局部放电现象。本发明可用于离子束依次经过加速管的加速电极，具有上下、左右分布的聚焦电极、抑制电极时，提高离子束的传输能量，加深离子掺杂工艺的注入深度，同时通过调节聚焦电源、抑制电源的输出电压可以有效改变束流传输过程中的扩散宽度，提高注入均匀性的可控性。

本发明授权一种离子束流加速管装置在权利要求书中公布了：1.一种离子束流加速管装置，包括加速管入口电极组件，入口端装有一个加速电极法兰，加速电极法兰前后两侧分别装有加速电极石墨和加速管进口保护石墨，出口端装有一个第一聚焦电极法兰，第一聚焦电极法兰上下两侧分别装有两块第一聚焦电极石墨，在加速管入口电极组件上施加加速电压，离子束流在其中进行加速；加速管中间组件，入口端装有一个第二聚焦电极法兰，出口端装有一个第三聚焦电极法兰，第三聚焦电极法兰左右两侧分别装有一块聚焦电极固定杆，聚焦电极固定杆上装有第二聚焦电极石墨，在加速管中间组件上施加聚焦电压，离子束流在其中进行聚焦；加速管出口组件，入口端装有一个抑制电极法兰，出口端装有一个第一地极法兰，在加速管出口组件上施加抑制电压，离子束流中的二次电子会受到抑制电极电场力的阻碍而不能从中通过，避免了二次电子造成的高辐射影响，同时也会对束流进行聚焦作用；聚焦硅堆作为连接聚焦电源与加速管中间组件的连接件，能有效防止电流回流，卸放电阻作为连接加速管中间组件与聚焦电源的连接件，能有效防止回路电流过大现象；加速管支撑焊接件可对加速管进行支撑固定；硅橡胶材质的加速管整体防护罩可有效预防加速管表面的局部放电现象。

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