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中国科学院兰州化学物理研究所张广安获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院兰州化学物理研究所申请的专利一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116855906B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310778776.5,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用是由张广安;曹学乾;尚伦霖;李东山设计研发完成,并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用。所述周期弥散强化纳米多层碳基薄膜包括粘结层、过渡层以及强化层;粘结层包括粘结金属;过渡层包括粘结金属以及非晶碳;强化层包括周期性的第一亚层和第二亚层;第一亚层包括非晶碳;第二亚层包括非晶碳和掺杂相,掺杂相包括碳化物和或氮化物,并周期性弥散镶嵌于所述第二亚层中。本发明提供的周期弥散强化纳米多层碳基薄膜有效降低了薄膜内应力并大幅提升了薄膜的韧性与机械性能,可有效改善碳基薄膜的热稳定性及其高温抗氧化性能,服役温度提高至550℃以上;本发明所提供的制备方法所采用的沉积工艺简单、易操控且成本低廉,有利于工业化应用。

本发明授权一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜、其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种周期弥散强化纳米多层碳基薄膜,覆设于基体表面,其特征在于,包括沿厚度方向依次层叠设置的粘结层、过渡层以及强化层; 所述粘结层包括粘结金属,与所述基体接触; 所述过渡层包括粘结金属以及非晶碳; 所述强化层包括沿所述厚度方向周期性层叠的第一亚层和第二亚层,所述第一亚层与第二亚层的调制比为1:0.75-1.25,调制周期为3-10nm;所述第一亚层为非晶碳;所述第二亚层包括非晶碳以及掺杂相,所述掺杂相包括碳化物、氮化物、金属中的任意一种或两种以上的组合,并沿所述第二亚层的延展方向周期性弥散镶嵌于所述第二亚层中,所述碳化物包括WC、TiC、SiC以及B4C中的任意一种或两种以上的组合,所述氮化物包括TiN、Si3N4中的任意一种或两种的组合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院兰州化学物理研究所,其通讯地址为:730000 甘肃省兰州市天水中路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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