杭州天睿精密科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州天睿精密科技有限公司申请的专利气浮转台及晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223664726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423153405.7，技术领域涉及：G01R31/26；该实用新型气浮转台及晶圆检测设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浮转台及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及转台设备技术领域，具体而言，涉及一种气浮转台及晶圆检测设备。气浮转台包括：转台组件，包括转台驱动机构和转台动子，转台驱动机构与转台动子连接，用于驱动转台动子绕转动轴线转动；位移组件，包括位移驱动机构和位移动子，位移驱动机构与位移动子连接，用于驱动位移动子沿转动轴线移动；其中，转台动子具有导向腔，导向腔用于安装并导引位移动子；位移动子与导向腔的腔壁之间存在缝隙，腔壁设有多个气孔和均压槽，各个气孔均用于与高压气源连接，均压槽与气孔一一对应，且均压槽环绕对应的气孔设置。晶圆检测设备包括上述气浮转台。本实用新型提供的气浮转台及晶圆检测设备，精度与稳定性较高。
本实用新型气浮转台及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种气浮转台，其特征在于，包括： 转台组件100，包括转台驱动机构110和转台动子120，所述转台驱动机构110与所述转台动子120连接，用于驱动所述转台动子120绕转动轴线转动； 位移组件200，包括位移驱动机构210和位移动子220，所述位移驱动机构210与所述位移动子220连接，用于驱动所述位移动子220沿所述转动轴线移动； 其中，所述转台动子120具有导向腔121，所述导向腔121用于安装并导引所述位移动子220；所述位移动子220与所述导向腔121的腔壁之间存在缝隙，所述腔壁设有多个气孔122和均压槽123，各个所述气孔122均用于与高压气源连接，所述均压槽123与所述气孔122一一对应，且所述均压槽123环绕对应的所述气孔122设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州天睿精密科技有限公司，其通讯地址为：311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路958号1幢801-14室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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