湖北星辰技术有限公司张培源获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种对准结构、晶圆及半导体器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223664904U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520173407.8,技术领域涉及:G03F9/00;该实用新型一种对准结构、晶圆及半导体器件是由张培源;陈帮;曾红;刘登武;方聪设计研发完成,并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种对准结构、晶圆及半导体器件在说明书摘要公布了:一种对准结构、晶圆及半导体器件,涉及半导体技术领域。该对准结构包括层叠设置的第一介质层和第二介质层,第一介质层内具有对准标记,对准标记具有至少一个标记部;第二介质层内形成有第一金属层和第二金属层,第一金属层和第二金属层沿第一介质层和第二介质层层叠方向间隔设置;第一金属层的覆盖面积大于标记部的覆盖面积。上述对准结构保证了产品整体金属材料具有一定的密度,提高了晶圆的工艺良率和产品可靠性。
本实用新型一种对准结构、晶圆及半导体器件在权利要求书中公布了:1.一种对准结构,其特征在于,包括层叠设置的第一介质层110和第二介质层120,所述第一介质层110内具有对准标记111,所述对准标记111具有至少一个标记部1111;所述第二介质层120内形成有第一金属层121和第二金属层122,所述第一金属层121和所述第二金属层122沿所述第一介质层110和所述第二介质层120层叠方向间隔设置;所述第一金属层121的覆盖面积大于所述标记部1111的覆盖面积。
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